中国三大芯片企业斥资超10亿美元采购ASML高端光刻机

中国三大芯片企业斥资超10亿美元采购ASML高端光刻机

光刻机是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。在高端光刻机领域，阿斯麦（ASML）公司占据着全球约90%的市场份额，并拥有领先技术。近期，中国多家企业向ASML订购高端光刻机，显示出中国在半导体制造领域的雄心。

长江存储迎来首台光刻机

长江存储从ASML订购的一台光刻机已抵达武汉，这台价值7200万美元（约合人民币4.6亿元）的设备主要用于14nm至20nm工艺。长江存储的官方消息显示，首批400万美元的精密仪器已经开始安装，标志着国家存储器基地从厂房建设阶段进入量产准备阶段。中国首批拥有完全自主知识产权的32层三维NAND闪存芯片将于年内量产。

华力12英寸项目首台设备——光刻机搬入

上海华力集成电路制造有限公司（华虹六厂）实现首台工艺设备搬入，这是一台来自ASML的NXT 1980Di光刻机，是目前中国大陆集成电路生产线上最先进的浸没式光刻机。华力目前拥有中国大陆第一条全自动12英寸集成电路芯片制造生产线（华虹五厂），工艺技术覆盖55-40-28纳米各节点，月产能达3.5万片。在建的华力12英寸先进生产线建设项目总投资387亿元人民币，预计将于2022年底建成达产，月产能4万片，工艺覆盖28-14纳米技术节点。

中芯国际EUV设备预计2019年交付

中芯国际（SMIC）从ASML订购了一套极紫外光刻（EUV）设备，价值1.2亿美元，这一设备预计将于2019年年初交付。ASML所生产的光刻机是制造微机电、光电、二极管大规模集成电路的关键设备，是目前世界上精度最高、生产效率最高、应用最为广泛的高端光刻机型。世界上很多著名芯片商如英特尔（Intel）、三星（Samsung）、海力士（Hynix）、台积电（TSMC）、中芯国际（SMIC）等，都已经开始试验使用这种EUV设备生产芯片。

ASML公司销售数据

ASML公司2017年和2018年第一季度的销售数据显示，中国在光刻机采购方面的增长趋势明显。2017年，ASML的主要销售客户依次为韩国、中国台湾、美国、中国大陆和EMEA地区。而2018年第一季度，中国大陆的采购量有所上升，超越美国和中国台湾，跃居第二，数额和EMEA持平。

中国加强自主晶圆制造

中芯国际购入首台价值1.2亿美元的ASML EUV设备，长江存储的首台光刻机也已运抵武汉，华力集成电路的12英寸先进生产线建设项目也实现了首台工艺设备搬入。这些举动将有助于推动中国自主研发半导体生产。对于年营业额达到90亿欧元的ASML公司来说，来自中国的订单虽然占比不大，但显示出中国在芯片市场上日益重要的角色。

有传言称基于瓦森纳协议（Verdrag van Wassenaar），荷兰不能出售顶尖光刻机给中国。对此，ASML发言人表示，公司平等对待全球客户，包括中国客户，并且依据瓦圣纳协定，没有限制向中国客户销售EUV光刻机。