让先进制程更环保：日本纸业巨头王子控股进军2nm木基光刻胶

让先进制程更环保：日本纸业巨头王子控股进军2nm木基光刻胶

引用

IT之家

1.

https://m.ithome.com/html/826917.htm

日本纸业巨头王子控股（Oji Holdings）正在向一家木制材料综合企业转型，其最新目标是开发一种采用木基生物质材料的正性光刻胶，目标到2028年实现商业化。

王子控股在光刻胶生产上的技术路线是从木材中提取可用于光刻胶的前体材料，然后将前体材料和特定溶剂混合聚合（并采用净化技术去除杂质），这样就得到了光刻胶成品。王子控股宣称其木基光刻胶可满足2nm先进制程需求。

传统的正性光刻胶通常需要添加有害的“永久化学品”PFAS来提高光敏度，而王子控股的木基光刻胶在EUV极紫外光下的降解速率比传统产品高出8倍，这消除了PFAS的使用需求，更为环保的同时也可提升先进制程图案化的质量。

此外传统光刻胶多为石油基塑料，木基光刻胶在原料上也可减少温室气体的排放。

王子控股表示，其在木基光刻胶上的商业目标是到本世纪30年代每年实现100亿日元（当前约5.5亿元人民币）的销售额。