国产光刻机突破在望：距离EUV技术仅剩两步之遥
国产光刻机突破在望：距离EUV技术仅剩两步之遥
在半导体制造领域，光刻技术始终占据核心地位。尽管佳能等公司推出了纳米压印技术（NIL），声称能够生产5纳米及以下级别的芯片，但目前光刻机仍然是大规模芯片生产的主流设备。
光刻机，尤其是先进的型号，对于确保芯片制造技术的持续进步至关重要。尽管像NIL这样的新技术以及其他如DSA、BLE电子束技术等在理论上存在潜力，但目前它们尚未被业界广泛采用，且产能有限。因此，光刻机作为芯片制造设备的核心地位依然稳固。
美国对ASML向中国出售光刻机的限制，尤其是禁止EUV光刻机出口，以及限制先进浸润式DUV光刻机的销售，进一步凸显了光刻机技术的重要性。美国的策略旨在通过控制光刻机的供应，来限制中国在芯片制造领域的进步。
面对这样的挑战，自主研发成为了中国突破技术封锁的关键。如果不能成功研发出先进的光刻机，芯片制造技术的发展将受到严重制约。因此，中国在光刻机领域的自主研发显得尤为重要。
那么，中国国产光刻机的研发进展如何呢？实际上，中国在光刻机领域的研发进展令人鼓舞。根据光刻机的发展路线图，目前最先进的是EUV光刻机，属于第六代，能够用于制造7纳米以下的芯片。而中国在光刻机研发方面已经取得了显著进展。
上海微电子此前已经量产了90纳米精度的ArF光刻机，而近期又曝光了新的氟化氩光刻机，其分辨率小于等于65纳米，套刻精度小于等于8纳米。这款光刻机已经达到了ArF光刻机的顶级水平，再进一步就是浸润式DUV光刻机（ArFi）了。
ArF光刻机与浸润式DUV光刻机在光源和工作台方面相似，主要区别在于浸润式系统，即在晶圆上加入了一层水作为介质。而ArFi之后，就是难度更大的EUV光刻机了，它采用13.5纳米的波长。
尽管如此，中国距离EUV光刻机的研发成功已经只有两步之遥。第一步是浸润式DUV光刻机，这一步的跨越预计不会太远，因为其他相关技术已经实现，只差浸润式系统的完善。一旦这一步实现，中国就将着手研发EUV光刻机。
尽管EUV光刻机的研发难度更大，但中国在光刻机领域的持续投入和研发进展表明，攻克这一技术难关的可能性正在逐步增加。一旦成功，中国将在半导体制造领域取得重大突破。