半导体单晶检测标准汇总

半导体单晶检测标准汇总

半导体单晶检测是确保半导体材料质量的关键环节。本文汇总了国内外关于半导体单晶检测的主要标准，涵盖了国家标准、团体标准以及国际标准，为相关从业者提供了全面的参考依据。

国际标准分类

在国际标准分类中，半导体单晶检测主要涉及以下领域：

• 半导体材料
• 金属材料试验
• 集成电路
• 微电子学
• 绝缘流体

中国标准分类

在中国标准分类中，半导体单晶检测主要涉及以下领域：

• 金属物理性能试验方法
• 半金属与半导体材料综合
• 电子技术专用材料
• 半金属及半导体材料分析方法
• 元素半导体材料
• 化合物半导体材料

国家质检总局标准

国家质检总局发布的半导体单晶检测相关标准如下：

• GB/T 1555-1997 半导体单晶晶向测定方法
• GB/T 1555-2023 半导体单晶晶向测定方法
• GB/T 1555-2009 半导体单晶晶向测定方法
• GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法
• GB/T 4326-1984 非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法
• GB/T 4326-2006 非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法
• GB 4326-1984 非本征半导体单晶霍尔迁移率和霍尔系数测量方法

中国团体标准

中国团体标准中关于半导体单晶检测的标准如下：

• T/CEMIA 023-2021 半导体单晶硅生长用石英坩埚
• T/CEMIA 024-2021 半导体单晶硅生长用石英坩埚生产规范

德国标准化学会标准

德国标准化学会（DIN）发布的半导体单晶检测相关标准如下：

• DIN 50443-1:1988 半导体工艺使用材料的检验.第1部分:用X射线外形测量法检测半导体单晶硅中晶体缺陷和不均匀性
• DIN 50454-2:1994 半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶错位腐蚀坑密度的测定.第2部分:铟磷化物
• DIN 50454-3:1994 半导体工艺材料的检验.Ⅲ-Ⅴ化合物半导体单晶错位腐蚀坑密度的测定.第3部分:镓磷化物

检测资质认证

半导体单晶检测机构需要具备以下资质认证：