成像系统分辨率测试利器:USAF1951分辨率靶详解
成像系统分辨率测试利器:USAF1951分辨率靶详解
分辨率靶是用于评估成像系统性能的关键工具,其中USAF1951分辨率靶最为常用。通过分析黑白相间条纹的间距,可以准确测量成像系统的分辨率。本文将详细介绍USAF1951分辨率靶的结构、设计原理以及如何使用线对数和线宽来表示分辨率。
分辨率靶是用来进行成像系统分辨率测试的重要工具,以USAF1951为代表的分辨率靶是最为常用的。该分辨率靶基于黑白相间的条纹进行设计,每组黑白条纹的间距是已知的,通常用线对数、线宽两种参数来表示分辨率。分辨率靶的典型图案如下(thorlabs R1DS1N1负靶。负靶为不透明基底,正靶为透明基底):
可以看到,分辨率靶中的每三条等间隔的线构成一个图案,旁边有一个数字标志对应的序号(Element Number),每6个相邻的图案构成一组,旁边有一个数字标志对应的组号(Group Number)如下。
每三条等间隔的线构成的图案,其中线的长度可使用如下公式进行计算(单位:mm):
$$
L = 0.002 \times 2^{(G-1)}
$$
以线对描述分辨率可使用如下公式进行计算(单位:线对/mm):
$$
P = \frac{1}{2L}
$$
以线宽(与线间距等效)描述分辨率可使用如下公式进行计算(单位:mm):
$$
W = \frac{L}{2^{(E-1)}}
$$
下表展示了一些计算结果(组号-2至12,序号1至6)。常规分辨率靶的组号通常为0-7(以Thorlabs为例),也就是能表征的分辨率范围为2.192um~500um。Edmund的高分辨率靶可以到9组3,最高能表征775nm的分辨率。Ready Optics的极端分辨率靶可以到11组6,最高能表征137nm的分辨率。
组号 (G) | 序号 (E) | 线长 (L) | 线对数 (P) | 线宽 (W) |
---|---|---|---|---|
-2 | 1 | 0.0005 | 1000 | 0.00025 |
-2 | 2 | 0.0005 | 1000 | 0.000125 |
-2 | 3 | 0.0005 | 1000 | 0.0000625 |
... | ... | ... | ... | ... |
12 | 4 | 0.002 | 250 | 0.0005 |
12 | 5 | 0.002 | 250 | 0.00025 |
12 | 6 | 0.002 | 250 | 0.000125 |
通过这些数据,我们可以清晰地看到不同组号和序号下的分辨率靶的具体参数,从而为成像系统的分辨率测试提供准确的参考依据。