硅烷在电子行业的应用广泛

硅烷在电子行业的应用广泛

硅烷作为一种重要的化工原料，在电子行业中具有广泛的应用。从生产高纯度硅到制备各种含硅薄膜和涂层，硅烷的独特性质使其在现代高科技领域中扮演着越来越重要的角色。本文将详细介绍硅烷在电子行业的具体应用及其重要性。

硅烷在高纯度硅生产中的应用

硅烷最早实用化和目前应用量最大的是作为生产高纯度硅的中间产物，一般称为硅烷法。历来生产高纯度硅的主要方法是三氯氢硅法(西门子法)。

硅烷在非晶半导体中的应用

硅烷的又一重要应用是非晶半导体非晶硅。与单晶半导体材料相比，非晶硅的特点是容易形成极薄的（厚度10nm左右）大面积器件，衬底可以是玻璃、不锈钢、甚至塑料，表面可以是平面也可是曲面，因此可以制成各种性能优异的器件。

硅烷在微电子工艺中的应用

硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的最主要的特种气体，用于各种微电子薄膜制备，包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用还在向纵深发展：低温外延、选择外延、异质外延。不仅用于硅器件和硅集成电路，也用于化合物半导体器件（砷化镓、碳化硅等）。在超晶格量子阱材料制备中也有应用。可以说现代几乎所有先进的集成电路的生产线都需用到硅烷。硅烷的纯度对器件性能和成品率关系极大，更高级的器件需要更高纯度的硅烷（包括乙硅烷、丙硅烷）。

硅烷在薄膜和涂层中的应用

硅烷作为含硅薄膜和涂层的应用已从传统的微电子产业扩展到钢铁、机械、化工和光学等各个领域。含硅涂层可使普通钢的高温耐氧化能力提高到10万倍以上，也可使其它金属的高温化学稳定性大大改善，使内燃机叶片的耐蚀性明显增强，使各种材料和零件之间的粘结强度大幅度提高，使汽车发动机零件的寿命延长，也可改变玻璃的反射和透射性能，从而得到显著的节能和装饰效果。在浮法玻璃生产过程中用硅烷在玻璃表面涂敷一层反光层其粘附力极强在长期阳光照射下不褪色，透光率只有普通玻璃的1/3；用氮化硅涂敷的大面积多晶硅电池（BSNSC）已达到15.7%的高效率。用硅烷气相沉积技术制造各种含硅薄膜在高技术中的应用还在与日俱增。