石英玻璃的主要成分及与高硼硅玻璃、普通玻璃的区别

石英玻璃的主要成分及与高硼硅玻璃、普通玻璃的区别

石英玻璃是一种二氧化硅单一组分的特种工业技术玻璃。这种玻璃硬度大可达莫氏七级，具有耐高温、膨胀系数低、耐热震性、化学稳定性和电绝缘性能良好，并能透过紫外线和红外线。除氢氟酸、热磷酸外，对一般酸有较好的耐酸性。按透明度分为透明和不透明两大类。按纯度分为高纯、普通和掺杂三类。用水晶，硅石，硅化物为原料，经高温熔化或化学气相沉积而成。熔制方法有电熔法、气炼法等。

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石英玻璃采用高纯度的硅砂作为原料，制作的传统方法是熔融-淬灭方法（加热材料到熔化温度，然后快速冷却到玻璃的固态相）；制作超高纯度和紫外透射比的透明玻璃需硅的汽化、氧化成二氧化硅并加热溶解等过程。

石英玻璃的耐热性很高，经常使用温度为1100℃~ 1200℃，短期使用温度可达1400℃。石英含量在99.5%以上的石英玻璃可耐1600℃高温。

石英玻璃和高硼硅玻璃、普通玻璃的区别

成分方面

• 普通玻璃：主要成分是硅酸钠、二氧化硅和硅酸钙。
• 石英玻璃：是用二氧化硅制造的特种玻璃，硬度和透明度更高。
• 高硼硅玻璃：氧化钠氧化硼二氧化硅。

耐温方面

• 普通玻璃：800℃会变形，1000℃可以融化。
• 石英玻璃：最高耐温1100℃，熔点是1700℃左右。
• 高硼硅玻璃：最高耐温520℃，软化点接近800℃。

石英玻璃的形成是由于其熔体高温黏度很高引起的结果。用于制作半导体、电光源器、半导通信装置、激光器，光学仪器，实验室仪器、电学设备、医疗设备和耐高温耐腐蚀的化学仪器、化工、电子、冶金、建材以及国防等工业，应用十分广泛。

随着半导体技术的发展，石英玻璃被广泛的用于半导体生产的各项工序中。比如，直拉法把多晶转化成单晶硅；清洗时用的清洗槽；扩散时用的扩散管、刻槽舟；离子注入时用的钟罩等等。