准分子激光器：40年风雨历程，多领域独领风骚
准分子激光器：40年风雨历程，多领域独领风骚
准分子激光器，这位激光领域的资深代表，虽然已经步入中年，但在紫外和深紫外光的高功率光源领域，它依旧保持着独步天下的姿态。40年前，Lambda Physik（现Coherent）的里程碑式创新，让化学家Bernd Steyer和Dirk Basting引领的准分子激光技术横空出世，他们的初衷是开发光化学和染料激光抽运源，然而激光器的潜力远远超出预期。
三大应用领域
准分子激光器的影响深远，它的三大应用——激光原位角膜磨镶术(LASIK)、光刻与显示器生产，都是其独特性能的生动例证。LASIK，这个每年让全球百万人受益的技术，证明了准分子激光在视力矫正领域的卓越贡献。从粗糙的猪眼实验到眼科诊所的精密手术，准分子激光的193 nm氟化氩(ArF)技术，以其卓越的精度和安全性，改变了无数人的生活。
在光刻领域，准分子激光器是制造微处理器背后的功臣。193 nm波长的准分子激光器，以其高精度和小尺寸电路设计，推动了集成电路的微型化，进而塑造了我们现代生活的方方面面。光刻过程中，从掩模投影到光刻胶的蚀刻，准分子激光的精确控制技术不可或缺。
显示器生产中，准分子激光退火（ELA）在薄膜晶体管(TFT)的制造中发挥关键作用，通过高效的308 nm激光脉冲，实现硅层的转化，保证了显示设备的高亮度和低功耗。这一技术的进步，使得准分子激光器在显示产品制造领域持续发光发热。
未来展望
尽管如此，准分子激光器并未止步，随着技术的提升和成本的降低，其在工业、医疗和科研领域的应用越发广泛，如柔性显示器的剥离工艺和光纤布拉格光栅(FBG)的制造，都离不开它的支持。国内诸如安徽光机所、芷云光电、瀚宇科技等企业，以及理波光电等配件元器件供应商，都在光电汇平台上展示其技术和成果。
准分子激光器，尽管历经40年的起伏，但其在关键领域的影响力和持续的创新精神，使其始终保持着无可替代的地位，成为推动科技进步的不竭动力。