聚焦离子束加工的新方法：实现高质量TEM样品制备

聚焦离子束加工的新方法：实现高质量TEM样品制备

聚焦离子束（FIB）技术在材料科学和纳米技术领域发挥着重要作用。近年来，随着技术的不断进步，聚焦离子束在样品制备方面的应用也日益广泛。本文将介绍一种新型的聚焦离子束加工方法，该方法结合了场发射扫描电子显微镜（SEM）的成像和分析性能，以及新一代聚焦离子束（FIB）的加工性能，可以实现一系列应用，包括成像和分析、三维重构、样品制备和纳米图形化加工等。

自动制备的TEM样品阵列

新型Ion-sculptor FIB镜筒的优势

使用新型的Ion-sculptor FIB镜筒，可以在制备样品时最大限度地提高样品质量，降低样品损伤，同时加快实验操作过程。通过定制仪器，还可以实现高质量和高通量的透射电子显微镜（TEM）样品制备。

TEM样品制备流程

1. 自动定位——感兴趣的区域（ROI）轻松导航

• 可以轻松找到感兴趣的区域（ROI）
• 使用样品交换室的导航相机对样品进行定位
• 集成的用户界面使得定位操作更加简便
• 在SEM上获得宽视野、无畸变的图像

2. 自动制样——从体材料开始制备薄片样品

• 通过简单的三个步骤（ASP）完成样品制备
• 定义参数包括漂移修正、表面沉积以及粗切和精细切割
• FIB镜筒的离子光学系统保证了工作流程具有极高的通量
• 可以将参数导出为副本，实现批量制备

3. 轻松转移——样品切割、转移机械化

• 导入机械手，将薄片样品焊接在机械手的针尖上
• 将薄片样品与样品基体连接部分进行切割，使其分离
• 薄片随后会被提取并转移到TEM栅网上

4. 样品减薄——获取高质量TEM样品至关重要的一步

• 仪器设计允许用户实时监控样品厚度
• 可以同时通过收集两个探测器的信号判断薄片厚度
• 一方面可以通过SE探测器以高重复性获取最终厚度
• 另一方面可以通过Inlens SE探测器控制表面质量

这种新型的聚焦离子束加工方法不仅提高了样品制备的效率和质量，还降低了操作难度，使得科研人员能够更专注于科学研究本身，而不是样品制备过程。