石英玻璃的主要成分及与高硼硅玻璃、普通玻璃的区别
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石英玻璃的主要成分及与高硼硅玻璃、普通玻璃的区别
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石英玻璃是一种二氧化硅单一组分的特种工业技术玻璃。这种玻璃硬度大可达莫氏七级,具有耐高温、膨胀系数低、耐热震性、化学稳定性和电绝缘性能良好,并能透过紫外线和红外线。除氢氟酸、热磷酸外,对一般酸有较好的耐酸性。按透明度分为透明和不透明两大类。按纯度分为高纯、普通和掺杂三类。用水晶,硅石,硅化物为原料,经高温熔化或化学气相沉积而成。熔制方法有电熔法、气炼法等。
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石英玻璃采用高纯度的硅砂作为原料,制作的传统方法是熔融-淬灭方法(加热材料到熔化温度,然后快速冷却到玻璃的固态相);制作超高纯度和紫外透射比的透明玻璃需硅的汽化、氧化成二氧化硅并加热溶解等过程。
石英玻璃的耐热性很高,经常使用温度为1100℃~ 1200℃,短期使用温度可达1400℃。石英含量在99.5%以上的石英玻璃可耐1600℃高温。
石英玻璃和高硼硅玻璃、普通玻璃的区别主要体现在成分和耐温方面:
- 成分方面:
- 普通玻璃:主要成分是硅酸钠、二氧化硅和硅酸钙。
- 石英玻璃:是用二氧化硅制造的特种玻璃,硬度和透明度更高。
- 高硼硅玻璃:氧化钠氧化硼二氧化硅。
- 耐温方面:
- 普通玻璃:800℃会变形,1000℃可以融化。
- 石英玻璃:最高耐温1100℃,熔点是1700℃左右。
- 高硼硅玻璃:最高耐温520℃,软化点接近800℃。
石英玻璃的形成是由于其熔体高温黏度很高引起的结果。用于制作半导体、电光源器、半导通信装置、激光器,光学仪器,实验室仪器、电学设备、医疗设备和耐高温耐腐蚀的化学仪器、化工、电子、冶金、建材以及国防等工业,应用十分广泛。
随着半导体技术的发展,石英玻璃被广泛的用于半导体生产的各项工序中。比如,直拉法把多晶转化成单晶硅;清洗时用的清洗槽;扩散时用的扩散管、刻槽舟;离子注入时用的钟罩等等。
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