【洁净厂房】洁净度等级详细解读

【洁净厂房】洁净度等级详细解读

洁净室，又称净化间，是通过控制空气悬浮粒子浓度来维持特定洁净度的场所。其设计与维护旨在最小化室内粒子的引入、生成与滞留，并对温度、湿度、压力等环境参数实施精准控制。洁净程度依据单位体积空气中特定粒径粒子的数量来划分，遵循“数值越小，净化级别越高”的原则，具体等级包括十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级及百万级。

图片来源：洁净工程联盟

百级洁净室标准

• 洁净度：确保每立方米空气中≥0.1微米的颗粒数量不超过100个。
• 压差与温湿度：维持温度22℃±2℃，湿度55%±5%，采用满布FFU（风扇过滤单元）、高架地板，配合MAU（中央空气处理机组）、FFU和DC（直接蒸发冷却）系统，保持正压，相邻房间压差保持约10帕。
• 照明：因工作精细度高，照明分为局部照明（针对性增亮特定区域）和混合照明（由一般照明和局部照明组合而成，一般照明占比10%-15%）。

千级洁净室标准

• 洁净度：每立方米内≤0.5微米微尘控制在3500个以下，即A级无尘标准，部分高端芯片制造要求更高，达到≤1000个/立方米。
• 压差与温湿度：需维持正压差以防外界污染，洁净度高区域对低区域形成压力梯度，依靠新风量补偿缝隙漏风。

万级洁净室标准

• 洁净度：控制≥0.5微米尘粒在35000至350000个/m³，≥5微米尘粒在300至3000个/m³。
• 温湿度控制：通过干盘管系统调节，空调箱依据传感器信号调整三通阀开度，控制进水量。

十万级洁净室标准

• 洁净度：每立方米微粒数不超10万个，适用电子、医药、食品等行业，要求每小时换气15-19次，完全换气后空气净化不超过40分钟。
• 压差与温湿度：同级别室压差一致，不同级别间压差5帕，与非洁净室间>10帕，温度与湿度调节舒适，一般为冬20-22℃、夏24-26℃，湿度依季节调节。

三十万级洁净室标准

• 洁净度：每立方米≥0.5微米尘粒不超过1050万个，≥5微米尘粒不超过6万个，浮游菌不超过1000个。
• 压差与温湿度控制：室区间静压差≥5帕，洁净室与室外≥10帕。

百万级洁净室标准

• 空气洁净度测试：分为空态测试（无工艺设备以及生产人员）与静态测试（有工艺设备以及无生产人员）。
• 送风量与风速：根据需求设定足够通风量，百万级洁净室考虑高中效净化系统，通过初效至高效（或超高效）的多阶段过滤，实现空气循环净化。

本指南为各行业提供详尽的洁净室标准参照，确保生产与研发环境的高质量与高效率。

来源：维克特建设工程；Tks to @Defier；洁净工程联盟