【洁净厂房】洁净度等级详细解读
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【洁净厂房】洁净度等级详细解读
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https://www.orion-machinery.cn/news/57.html
洁净室,又称净化间,是通过控制空气悬浮粒子浓度来维持特定洁净度的场所。其设计与维护旨在最小化室内粒子的引入、生成与滞留,并对温度、湿度、压力等环境参数实施精准控制。洁净程度依据单位体积空气中特定粒径粒子的数量来划分,遵循“数值越小,净化级别越高”的原则,具体等级包括十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级及百万级。
图片来源:洁净工程联盟
百级洁净室标准
- 洁净度:确保每立方米空气中≥0.1微米的颗粒数量不超过100个。
- 压差与温湿度:维持温度22℃±2℃,湿度55%±5%,采用满布FFU(风扇过滤单元)、高架地板,配合MAU(中央空气处理机组)、FFU和DC(直接蒸发冷却)系统,保持正压,相邻房间压差保持约10帕。
- 照明:因工作精细度高,照明分为局部照明(针对性增亮特定区域)和混合照明(由一般照明和局部照明组合而成,一般照明占比10%-15%)。
千级洁净室标准
- 洁净度:每立方米内≤0.5微米微尘控制在3500个以下,即A级无尘标准,部分高端芯片制造要求更高,达到≤1000个/立方米。
- 压差与温湿度:需维持正压差以防外界污染,洁净度高区域对低区域形成压力梯度,依靠新风量补偿缝隙漏风。
万级洁净室标准
- 洁净度:控制≥0.5微米尘粒在35000至350000个/m³,≥5微米尘粒在300至3000个/m³。
- 温湿度控制:通过干盘管系统调节,空调箱依据传感器信号调整三通阀开度,控制进水量。
十万级洁净室标准
- 洁净度:每立方米微粒数不超10万个,适用电子、医药、食品等行业,要求每小时换气15-19次,完全换气后空气净化不超过40分钟。
- 压差与温湿度:同级别室压差一致,不同级别间压差5帕,与非洁净室间>10帕,温度与湿度调节舒适,一般为冬20-22℃、夏24-26℃,湿度依季节调节。
三十万级洁净室标准
- 洁净度:每立方米≥0.5微米尘粒不超过1050万个,≥5微米尘粒不超过6万个,浮游菌不超过1000个。
- 压差与温湿度控制:室区间静压差≥5帕,洁净室与室外≥10帕。
百万级洁净室标准
- 空气洁净度测试:分为空态测试(无工艺设备以及生产人员)与静态测试(有工艺设备以及无生产人员)。
- 送风量与风速:根据需求设定足够通风量,百万级洁净室考虑高中效净化系统,通过初效至高效(或超高效)的多阶段过滤,实现空气循环净化。
本指南为各行业提供详尽的洁净室标准参照,确保生产与研发环境的高质量与高效率。
来源:维克特建设工程;Tks to @Defier;洁净工程联盟
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