电子背散射衍射（EBSD）在材料科学领域应用价值高 我国研制能力不断提升

电子背散射衍射（EBSD）在材料科学领域应用价值高 我国研制能力不断提升

电子背散射衍射（EBSD）是一种在材料科学领域中用于表征晶体结构的技术，通过分析从样品表面反射回电子的衍射模式，精确测量晶体的取向、晶界取向差、鉴别物相及局部晶体完整性等关键信息。

电子背散射衍射是现阶段较先进的材料表征手段，相比于金相、XRD、投射等表征手段，具有微区物相鉴定精度高、数据信息量丰富、晶粒取向信息直观、样品制备简单等优势。

近年来，电子背散射衍射技术在材料科学领域应用价值愈发凸显，其已广泛用于金属及合金、薄膜、半导体、矿物、陶瓷、纳米晶等材料微观组织研究中，在航空航天、核能、微电子、先进制造、金属加工、可再生能源开发、地质研究等场景应用越来越广泛。随着材料科学飞速发展，电子背散射衍射技术应用前景将愈发明朗。

电子背散射衍射仪是基于电子背散射衍射技术的新型显微分析设备，其通常安装在扫描电子显微镜（SEM）或电子探针上。国外电子背散射衍射技术发展成熟，电子背散射衍射仪核心竞争力强，主要研制企业包括牛津仪器、布鲁克、美国EDAX等。

早期我国电子背散射衍射技术完全依赖进口，为打破国外垄断、满足应用需求，我国加大了对具有自主知识产权的高精度电子背散射衍射仪研制力度，在国家重点研发计划重点专项“高精度电子背散射衍射探测器研制”项目支持下，电子背散射衍射仪国产化进程将不断加快。

我国电子背散射衍射仪研制企业及单位包括浙江祺跃科技有限公司、中国科学院上海硅酸盐研究所（上海硅酸盐所）、中国科学院国家空间科学中心等。上海硅酸盐所研制的高分辨电子背散射衍射仪项目是采用高效磷屏探测器设计方案，该方案结合了新型稀土掺杂荧光材料与高灵敏CMOS相机，从源头提高了采集衍射花样的信噪比，目前项目组已完成高分辨率电子背散射衍射仪样机一台，具备批量生产的能力。

作为先进的材料表征手段，近年来，电子背散射衍射技术在材料科学领域应用价值不断凸显，应用范围持续扩展。我国电子背散射衍射技术及设备研制起步晚，目前与国际先进水平相比仍存在一定差距，但在国家重点研发计划专项扶持下，我国电子背散射衍射仪自主研制能力在不断提升，国产化进程将持续推进。