光刻胶/显影液
创作时间:
作者:
@小白创作中心
光刻胶/显影液
引用
1
来源
1.
https://www.whchip.com/news/shownews2679.html
显影液在微流控行业中扮演着重要角色,特别是在微流控芯片的加工过程中。以下是显影液在微流控行业应用的一些关键点:
微流控芯片加工中的显影液
在微流控芯片的加工过程中,光刻是一个关键步骤,而显影液在这个过程中发挥着重要作用。具体来说,显影液用于去除未曝光的光刻胶,从而在基片上形成所需的图案。这一过程包括以下几个步骤:
步骤 | 描述 |
|---|---|
a. 基片清洗 | 通过抛光、酸洗、水洗的方法使硅、石英或玻璃等基片表面得以净化,并将其干燥,便于后续光刻胶与基片表面的粘附 |
b. 涂胶 | 在处理过的基片表面均匀涂上一层光刻胶 |
c. 前烘 | 去除光刻胶液中溶剂,增强光刻胶与基片粘附以及胶膜的耐磨性 |
d. 曝光 | 利用光成像和光敏胶在微流控芯片的基片如硅、玻璃等材料上图形化的过程 |
e. 显影 | 把曝光过的基片用显影液清除应去掉的光刻胶,以获得与掩模相同(正光刻胶)或相反(负光刻)的图形 |
f. 坚膜 | 将显影后的基片进行清洗并烘烤,彻底除去显影后残留于胶膜中的溶剂或水分,使胶膜与基片紧密粘附,防止胶层脱落,并增强胶膜本身的抗蚀能力 |
显影液的类型
显影液有不同的类型,适用于不同的光刻胶和工艺。例如,AZ 300MIF显影液是一种高纯度有机碱性显影液,适用于AZ系列光刻胶。此外,还有其他类型的显影液,如su-8显影液,它们主要用于su-8系列光刻胶的显影。
显影液的选择与使用
选择合适的显影液对于确保微流控芯片的精度和性能至关重要。显影液的选择取决于所使用的光刻胶类型、所需的分辨率和图案复杂性等因素。此外,显影液的浓度、温度和显影时间也会影响最终的图案质量。
综上所述,显影液在微流控行业中主要用于微流控芯片的加工过程中的光刻步骤,通过去除未曝光的光刻胶来形成所需的图案。选择合适的显影液对于确保微流控芯片的精度和性能至关重要。
热门推荐
75只基金分红超亿元!债基成主力,QDII基金分红同比增幅超1220%
深入探讨生辰八字的计算方法及其文化意义和应用
二手雅绅特如何辨别车况好坏
多潘立酮片和奥美拉唑可以一起服用吗?医生来解答
2025,情绪价值依然能拿捏年轻人
英雄联盟手游高分段有哪些好用的战术
关羽单刀赴会:智慧与勇气的传奇
微信支付宝收款,真的不用交税了吗?
跑完马拉松,如何在48小时内恢复体能?
螨虫是怎么产生的
看“清朝老片”,鉴定网络热门网友
唐代诗人吴融:一个时代的见证者
DeepSeek带飞医疗行业,互联网诊疗平台纷纷接入,用户需避免认知误区
战争爆发需要储备什么:家庭应急物资清单与实用指南
断刺剧情介绍
抓捕日军“百人斩”始末:一张报纸引发跨国追缉
唐诗代表人物生平简介:吴融,唐朝走向灭亡的见证者之一
几乎没有热量的代糖,你吃过哪些?
上海结婚男方需要出哪些钱?要多少钱
运动减肥步骤(减肥的锻炼方法)
南通,何不通? | “名不副实”的城市
陈师道简介及资料
碘伏可以治脚气吗
“AI医院”首批42位“AI医生”正在内测,到底靠不靠谱?
火车票改签规则详解:改签费和退票费如何计算?
你还在苦等栀子花绽放吗?这些花期知识与催花技巧或能帮你
双相情感障碍患者家属必读:如何提供有效支持和陪伴?
高冷直播到底违法吗?
孕吐时好时坏怎么回事
【每日化学-元素】锕系——几乎能与所有非金属反应的钍【tǔ】