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EDS定量分析：原理、应用与实例

创作时间:
作者:
@小白创作中心

EDS定量分析：原理、应用与实例

引用
1
来源
1.
http://labrary.shintechcn.com/solution/96

X射线能谱分析（EDS）是一种用于材料微区成分元素种类与含量分析的技术。当其与扫描电子显微镜（SEM）结合使用时，能够更清晰精准地对指定位置或异物进行成分分析，从而同时获得表面形貌与成分的数据信息。这一技术遵循GB/T 17359-2012 微束、能谱法定量分析标准。


探测元素范围

EDS的探测元素范围为Be4～U92。

试样制备

EDS的定量分析结果的准确性与试样制备技术密切相关，要根据试样的不同特点，制备满足定量分析要求的试样。实际分析中，许多情况下无法得到平的试样，如粉体、断口及不能破坏的零部件等。这类试样仍然可以用EDS分析，虽然定量准确度稍差，但许多情况下可以满足实际要求，例如金属中夹杂、玻璃中结石等。

分析示例

铝材成分分析

元素
线类型
重量百分比
Wt % Sigma
原子百分比
Al
K线系
97.05
0.41
97.05
Mg
K线系
2.42
0.11
2.69
Ti
K线系
0.00
0.11
0.00
V
K线系
0.06
0.12
0.03
Cr
K线系
0.30
0.13
0.16
Mn
K线系
0.04
0.13
0.02
Fe
K线系
0.03
0.15
0.02
Ni
K线系
0.08
0.17
0.03
Si
K线系
0.00
0.15
0.00
Cu
K线系
0.00
0.21
0.00
Zn
K线系
0.01
0.26
0.00
总量
100.00
100.00

锡膏成分分析

元素
线类型
重量百分比
Wt % Sigma
原子百分比
Sn
L线系
99.09
0.36
98.57
Ag
L线系
0.34
0.27
0.38
Cu
K线系
0.57
0.24
1.05
总量
100.00
100.00
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