上海市重点用水企业水效领跑者典型示范案例①-电子芯片行业
上海市重点用水企业水效领跑者典型示范案例①-电子芯片行业
近日，上海市经济和信息化委员会、水务局联合公布了2023年度上海市重点用水企业水效领跑者名单，7家重点用水企业获此荣誉，其中4家来自电子芯片行业。这些企业在节水方面采取了多项创新措施，不仅有效降低了用水成本，也为行业树立了节水标杆。
上海华力微电子有限公司
上海华力微电子有限公司成立于2010年1月，位于浦东新区张江高科技园区，拥有一条12英寸集成电路芯片制造生产线。公司建立了完善的节水管理体系，通过废水回收、反渗透浓水回收等项目，以及智能化的节水管理系统，实现了显著的节水成效。
节水工作情况
废水选别回收项目：华力微设计了无机废水（RCL）和有机废水（RCM）回收系统，通过活性碳过滤、离子树脂交换等工艺，年节水量达86.6万立方米。
反渗透浓水（Brine-RO）回收项目：通过反渗透处理工艺，将制备超纯水过程中产生的浓水回收利用，年节水效益达20.9万立方米。
节水管理：建有动力中控FMCS管理系统，实现对用水数据的实时监控和精细化管理。通过提高循环冷却水浓缩倍数、优化洗涤塔清洗循环时间等措施，2023年全年节水量约1.5万立方米。
节水宣传：通过制作卡通形象、开设环保知识专栏、开展节水培训等方式，加强员工节水意识。
图5 企业节水宣传示意图
节水成效
华力微通过不断加强节水管理，在水效指标方面获得显著成效：2020-2022年单位产品用水量均优于上海市用水定额先进值，工业用水重复利用率、间接冷却水循环率、废水回用率均达到较高水平。
台积电（中国）有限公司
台积电（中国）有限公司是全球最大的专业集成电路制造服务公司，主要生产8英寸集成电路芯片。公司通过持续开展节水项目，强化中水回用、串联用水等水资源的重复利用，实现显著节水成效。
节水工作情况
节水工艺改造：实施含氟废水、含氨废水、化学研磨（CMP）废水等12项中水回用项目，日均自来水替代量约1.8万立方米，年节水效益达657万立方米。
智慧水务管理：搭建智能远传抄表系统，实现生产线各区域水量变化的全面实时掌控，形成用水节点网络漏损预警管控机制。
节水宣传：通过世界水日活动、节水宣传海报等多种形式，加强员工节水意识。同时积极参与社会节水宣传活动，推广节水理念。
台积电（中国）有限公司世界水日节水宣传
节水成效
台积电通过加强节水管理，在单位产品用水量、万元工业产值取水量、间接冷却水循环率、废水回用率等方面获得显著成效，各项水效指标均优于行业标准。
上海晶盟硅材料有限公司
上海晶盟硅材料有限公司专业从事研发、设计、生产6-12英寸单晶硅外延片。公司通过实施POU回收项目、清洗机淋洗水回收系统等节水措施，实现显著节水成效。
节水工作情况
POU回用项目：自2013年起分三期建设POU回收系统，累计投资292万元，设计利用规模达1800立方米/天，累计节水量达224万立方米。
清洗机淋洗水回收系统：投资92万元建设，设计利用规模400立方米/天，累计节水量达28万立方米。
智慧水务管理系统：安装28台智能远传流量计，实现用水管理智能化。
节水宣传：通过张贴节水宣传标牌、宣传海报等多种形式，加强员工节水意识。
图4 智慧水务管理系统界面
节水成效
晶盟硅通过加强节水管理，在单位产品用水量、万元工业产值取水量、间接冷却水循环率、工艺水回用率等方面获得显著成效，具体水效指标显示其用水水平处于行业先进水平。
上海新康电子有限公司
上海新康电子有限公司主要从事半导体集成电路后道封装、制造、开发，以及表面贴装半导体器件的封装和测试。公司通过实施智慧水务管理系统、UF反冲洗水回用项目等措施，实现显著节水成效。
节水工作情况
智慧水务管理系统：投资45.5万元安装50套智能水表，实现用水系统的集中监控和数字化管理。
UF反冲洗水回用项目：投资15万元，将反渗透浓水回用于砂滤和碳滤的预处理罐反冲洗，日节水量约20立方米。
空调冷凝水回收利用：在夏季可节水5-8立方米/天。
工艺水回用：实施电镀漂洗废水回用和研磨废水回用项目，年节水量达7200立方米。
智能系统上水水表界面
节水成效
新康电子通过加强节水管理，在单位产品用水量、万元工业产值取水量、间接冷却水循环率、工艺水回用率等方面获得显著成效，具体水效指标显示其用水水平处于行业先进水平。
这些企业的节水案例展示了通过技术创新和精细化管理，可以在保证生产效率的同时实现水资源的高效利用。这些经验不仅对电子芯片行业具有重要参考价值，也为其他高用水行业提供了有益借鉴。