无尘车间的设计要求

无尘车间的设计要求

无尘车间，又称洁净室，是电子、半导体等行业生产过程中不可或缺的重要设施。其设计要求严格，不仅要控制粒子数量，还需要对温湿度、照明、微震等多方面因素进行精确控制。本文将详细介绍无尘车间的设计要求，包括温湿度控制、洁净度等级、气流模式以及天花板结构的平整度控制等方面的具体标准。

电子洁净室的设计基于芯片生产车间、集成电路洁净室和磁盘制造车间。除了严格控制粒子外，温湿度的控制、照明（甚至光源的要求）、微震等要求更加严格，消除了静电对生产产品的影响，使环境满足电子产品在清洁环境中的生产工艺要求。

洁净室（区域）的温、湿度应根据生产工艺要求确定。当生产过程没有特殊要求时，其温度可根据2026℃，相对湿度30%70%使用。人员净化室和客厅的温度可在16~28°C使用。

根据符合国际ISO标志的国家标准中国，洁净室（区）的洁净度等级为1-9，电子洁净室，其中1-5，气流模式为单向流动或混合流动；6级气流模式为非单向流动，换气次数为50-60次/ h；7级气流模式为非单向流动，空气交换次数为15-25次/ h；8-9气流流动模式是非单向流动，换气次数为10-15次/ h。

穿过洁净室（区域）天花板的各种开口的气密性是确保洁净室（区域）清洁和防止污染的重要措施。洁净室和天花板结构的平整度控制取决于龙骨接点的测量。精度、水平应逐一测量，龙骨的下平面通过调整整个钢丝吊架的长度保持在规定的偏差范围内。顶板的周边应紧密连接到墙壁上，接头应齐平并密封良好。天花板的高度为板之间的间隙应符合设计要求。 “规范”规定每块板之间间隙的允许误差不应超过0.5毫米，密封剂均匀密封。根据洁净室施工的实践，上述规定是可行的，也可以做到。