离子束抛光机在超精密制造领域应用广泛 我国市场需求空间广阔

离子束抛光机在超精密制造领域应用广泛 我国市场需求空间广阔

离子束抛光机是一种基于离子溅射原理的表面处理设备，在超精密制造领域具有广泛的应用前景。本文将为您详细介绍离子束抛光机的工作原理、结构组成、优势及其在各行业的应用现状。

工作原理与结构组成

离子束抛光机是一种表面处理设备，基于离子溅射原理，在真空状态下，通过离子源引束产生等离子体能量束流，束流轰击工件表面产生原子级别的材料去除，从而实现元件的高精度加工。

离子束抛光机通常由控制系统、真空系统、离子源、工作台、气体循环系统等部分组成。其中：

• 控制系统具有操作和监控设备的作用；
• 真空系统用于提供工作环境，以确保离子束的稳定性；
• 离子源是离子束抛光机的最核心部分，作用是利用电磁场加速离子形成离子束；
• 工作台用于支撑或控制工件；
• 气体循环系统主要负责废气回收和处理。

优势与应用领域

离子束抛光机是非接触式加工设备，相比于传统抛光设备，具有以下优势：

• 加工精度高
• 维护费用低
• 不产生亚表面损伤
• 可加工任意形状曲面

离子束抛光机适用于特殊、大面积、异型等材料的超高精度修形及抛光，在以下领域应用日益广泛：

• 半导体
• 生化检测
• 航天航空零部件
• 光学镜片
• 精密模具
• 医疗器械
• 汽车等超精密制造领域

市场现状与发展趋势

离子束抛光机行业存在一定的技术、研发和生产壁垒，行业进入门槛较高。目前主要生产企业包括：

• 德国NTG公司
• 美国伊士曼柯达
• 博顿光电
• 长沙埃福思科技
• 至臻光学
• 埃德万斯
• 天创精工科技等企业

近年来，得益于零部件供应能力提升、技术突破以及国家政策支持，我国离子束抛光机国产替代步伐逐渐加快。例如：

• 至臻光学研制出了国内首台离子束超精密抛光机，并实现推广商用，打破了国外超精密抛光技术卡脖子问题
• 博顿光电解决了国内在高端离子源及离子束设备领域存在的供应短缺、价格高的问题，离子源核心部件成本实现了大幅降低

未来发展趋势：

• 智能化
• 超高精度
• 多功能化

在制造业升级背景下，我国离子束抛光机市场存在巨大的发展和需求空间。随着设备价格下降，离子束抛光机应用将更加广泛。

本文原文来自新思界产业研究中心