全网最全！石英坩埚分类指南

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石英坩埚是由高纯石英砂制成的容器，具有洁净、同质、耐高温等性能，目前广泛应用于太阳能和半导体领域提炼晶体硅的生产工艺中。本文将从多个维度详细介绍石英坩埚的分类方法及其应用领域。

这篇文章汇总了按照不同分类方法进行分类的石英坩埚。

按应用领域分类

石英坩埚可分为：半导体（电子级）石英坩埚、光伏（太阳能级）石英坩埚

• 半导体石英坩埚主要用于生长半导体单晶硅，用于制造集成电路、微电子器件等；
• 光伏石英坩埚主要用于生长光伏单晶硅，用于制造太阳能电池、光伏组件等。

半导体石英坩埚对纯度要求更高，一般要求SiO2纯度大于99.998%，杂质含量低于10ppm，气液包裹体含量低于100ppm；光伏石英坩埚对纯度要求相对较低，一般要求SiO2纯度大于99.95%，杂质含量低于100ppm，气液包裹体含量低于500ppm。

半导体石英坩埚一般采用合成石英作为内层，天然石英作为外层，内外层之间有一层过渡层，以提高坩埚的强度和稳定性；光伏石英坩埚一般采用天然石英作为内外层，内层为气泡空乏层，外层为气泡复合层，以提高坩埚的耐温性和保温效果。

半导体石英坩埚一般较小，直径在8-12寸之间，高度在20-30厘米之间；光伏石英坩埚一般较大，直径在24-40寸之间，高度在40-60厘米之间。

按内层石英种类分类

石英坩埚可分为：合成石英坩埚（SQC）、天然石英坩埚（NQC）

石英坩埚的原材料大体分为两种：一种是以天然石英为原料的石英砂，一种是高纯合成原料。

• 合成坩埚内表面纯度更高，适用于高级别硅棒的拉制；
• 内表面结晶化的天然石英坩埚，适应多次加料工艺，长时间使用。

按形状分类

石英坩埚可分为：圆形石英坩埚、方形石英坩埚

• 方形石英坩埚用于多晶硅锭铸造环节；
• 圆形石英坩埚则用在单晶硅棒拉制环节。

按成型工艺分类

石英坩埚可分为：注塑成型石英坩埚、挤压成型石英坩埚

石英坩埚的成型方法主要有挤压成型和注塑成型两种。挤压成型是将石英粉末通过挤压机挤压成型，形成坩埚的外形和尺寸；注塑成型则是将石英粉末与有机粘结剂混合，注入模具中成型。

按外观分类

石英坩埚可分为：透明石英坩埚、不透明石英坩埚

最早期的石英坩埚是全部透明的，这种透明的构造容易导致不均匀的热传输条件，增加晶棒生长的困难度，所以这种坩埚被淘汰使用。

目前，市场主流的是半透明石英坩埚。半透明石英坩埚具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点。

按规格（坩埚直径）分类

石英坩埚可分为：D≤305mm，D＞457mm，305mm＜D≤457mm

本文原文来自中国粉体网