SECS/GEM协议在半导体行业的应用详解

SECS/GEM协议在半导体行业的应用详解

引用

CSDN

1.

https://blog.csdn.net/weixin_40521649/article/details/140861460

SECS/GEM协议是半导体行业设备与设备之间或设备与工厂主机系统之间通信的国际标准协议。本文将详细介绍SECS/GEM协议的概念、报文结构、指令集以及调试软件的使用方法。

一、概念

SECS/GEM（制造设备通信和控制的通用模型）是一组用于半导体行业“设备与设备”之间或“设备与工厂主机系统”之间通信的国际标准协议，由国际半导体协议SEMI发起并维护。SECS基于其他较低级别的协议，如下：

1. SECS-II与SECS-I、HSMS的关系：

• SECS-I：定义 RS-232 通信的标准（报文）
• HSMS：定义 TCP/IP 通讯的标准（报文）
• SECS-II：定义交换消息的标准

2. SECS/GEMHSMS协议报文分析

• 数据长度：占4个字节，每个字节都是存储的16进制的数据。
• 报文头信息
• 数据信息

3. SECS指令（S：Stream编号，F：功能编号）

• SECS/GEM协议使用“SECS指令”进行通讯；发送者发送奇数，响应者响应偶数，如：“发送者发送S1F1，响应者响应S1F2”。

Stream编号含义

常用指令

TimeOut

二、SECS/GEM协议调试软件

1. 仿真软件1(本实例演示)：SEComSimulator（美国AIM Systems公司的基于C#开发的SECS标准协议模拟器）
2. 仿真软件2： SECS-Simulator(其他公司开的Java版)

软件中出现的关键字

• Host/Local：主机模式与本地模式
• Remote：远程模式（RCMD）
• Passive/Active：服务器与客户端
• EQP：设备
• Device ID：设备标识
• VID：设备变量ID
• SVID：设备状态ID（key-value，如：1000代表‘一号轮子的转速’）
• RPTID：报告编号
• CEID：事件编号（事件为 设备主动给主机推送数据；一个事件中可以包含多个报告）
• ECID：设备常量
• PID：配方编号（配方为一组变量，可以一次请求一组数据）
• DATAID：数据ID
• 设置或清除报警ALCD /报警编号ALID / 报警文本ALTX
• Send Primary Message：发送主要消息
• Send Reply Message：发送回复消息
• Send Control Message：发送控制消息
• MDLN：设备模型类型
• SOFTRE：软件修订版本
• 设备常数(EC)/状态变量(SV) /数据变量(DV)

使用SEComSimulator作为服务器时的配置

使用SEComSimulator作为客户端时的配置

开始连接

连接后的效果