东岳入局含氟特气领域，乘风而起的中国特种气体行业

东岳入局含氟特气领域，乘风而起的中国特种气体行业

山东东岳化工有限公司近日宣布将投资建设40吨/年含氟电子特气材料项目，这一消息引发了业界广泛关注。含氟电子特气是半导体、集成电路等高端制造业的关键基础材料，长期以来一直被欧美日韩等发达国家垄断。东岳化工的这一举措，不仅有望打破国外技术封锁，还将推动中国特种气体行业的发展。

电子级三氟甲烷和八氟环丁烷

电子级三氟甲烷、八氟环丁烷是众多含氟电子特气材料之一，是人工智能芯片、超大规模集成电路、液晶显示器件、半导体发光器件和半导体材料制造的关键基础材料，国内对含氟电子特种气体工业化生产技术存在迫切需求，由于受欧美日韩等发达国家技术严密封锁而导致含氟电子特种气体制备成为一种“卡脖子”技术，应用于28nm以下的高端芯片和人工智能芯片制造的关键材料含氟电子特种气体产品都只能进口，因此，急需通过科技攻关开发出高纯超净、适用性强的含氟电子特种气体系列产品，对于促进我国人工智能芯片国产化有着重要意义。

谈及电子特气发展前景，深度科技研究院院长张孝荣表示：“电子特气被称为现代电子工业的血液，在集成电路、光伏能源、显示面板、新能源汽车、环保等领域中有着巨大的应用需求，未来几年市场需求将出现跨越式增长。有数据显示，中国已经成为全球增速最快的电子特气市场，2020年市场规模达到150亿元，占全球比例约为48%，未来前景向好。”

新思界行业分析人士认为：“近年来，随着我国电子产业的崛起，集成电路、显示面板产业应用需求的增长，电子特气市场呈现快速发展态势，而含氟电子气体作为其细分领域之一，行业发展态势也持续向好。在下游半导体行业持续发展的刺激下，以及中美贸易争端的影响下，含氟特种气体实现国产化替代已是必然趋势。而就目前来看，我国含氟特种气体在国产化道路的进程已经取得了阶段性的进步，未来仍有较大发展空间。”

电子级三氟甲烷

三氟甲烷性质稳定，可溶于水，可溶于丙酮、无水乙醚、甲醇等部分有机溶剂，不导电，不可燃烧，但在高温条件下可受热分解，分解产物为有毒氟化氢气体。

由于ODP为零，R23可取代氯氟烃（CFC）例如CFC-13用作低温制冷剂、灭火剂，三氟甲烷也可用作超临界萃取溶剂，以及有机合成中间体，用来制取四氟乙烯等产品。在电子产业中，三氟甲烷可用作等离子体化学蚀刻剂，在二氧化硅膜刻蚀方面具有速度快、选择性优等特点。三氟甲烷虽然不破坏臭氧层，但其GWP高达14800，在大气层中的存留时间长达264年，是一种强温室气体，自《蒙特利尔议定书》和《京都议定书》签订后，它的应用逐渐减少。

随着科技的发展和半导体制造工艺的提升，集成电路、半导体器件、液晶显示器等的制造精度要求越来越高，电子气体的重要性日趋显著。

三氟甲烷作为一种新型电子气体，在半导体制造领域主要用于二氧化硅和氮化硅薄膜的等离子蚀刻，其纯度对半导体元件的质量、集成度、成品率影响很大，从根本上制约着电子器件的精确性和准确性。

目前，国内生产高纯三氟甲烷的企业较少，有一些企业正处于筹划或研发阶段，主要分为两类：一类为拥有高纯气体生产经验并以气体为主业的气体公司；另外一类是氟化工企业，他们利用具有合成技术或副产三氟甲烷的优势进行提纯研究，希望以此为切入口进入高端含氟气体市场。

尽管国内氟化工企业拥有原料优势，但由于纯度99.999%以上高纯气体与工业级气体的生产技术有着很大的区别，国产三氟甲烷的纯度与进口产品还有一定的差距，因此，国内电子级三氟甲烷几乎全部来自于外资气体公司。

电子级八氟环丁烷

八氟环丁烷，又名全氟环丁烷，化学性质稳定，无毒且无臭氧影响，温室效应低，是一种绿色环保型特种气体，主要应用于高压绝缘、超大规模集成电路蚀刻剂、代替氯氟烃的混合制冷剂、 气溶胶、清洗剂（电子工业用）、喷雾剂、热泵工作流体等。随着蒙特利尔协议的实施和电子行业的飞速增长，八氟环丁烷的作用日趋重要，使用量也在逐年上升，是一种重要的特种含氟气体。

近年来，在制冷、发泡材料、电子电力、化工等领域持续发展的驱动下，中国相关企业加大八氟环丁烷产能布局，尤其是半导体、显示面板等电子产业的快速发展及其所展现出的良好市场前景，刺激华特气体、德尔科技、绿菱气体等企业积极布局高纯八氟环丁烷产业，成为推动中国八氟环丁烷供给量增长的重要动力。

但是，目前国内能生产高纯度八氟环丁烷的厂家不多，在合成和提纯技术方面进展较慢，与国外气体厂家相比还存在较大差距，因此国内相关企业应继续加大研发力度，优化生产工艺，提高产品等级，满足未来市场需求。

乘风而起的中国特种气体行业

就行业情况来看，根据第三方研究机构发布的《2020-2024年中国含氟电子气体行业市场行情监测及未来发展前景研究报告》显示，近年来，随着民众对电子产品的消费需求不断增加，国内电子行业获得了空前发展。而高纯、超高纯的含氟电子气体作为电子信息材料领域特种电子气体的重要组成部分，其产品市场需求也随之快速增长。目前来看，在全球电子特种气体市场中，含氟电子气体产量占比超过了30%，占据着重要地位；而在我国随着相关技术水平的逐渐提升，现在已实现了少数含氟电子气体的自主且规模化生产。

近年来，特种气体在资本市场上备受青睐。以金宏气体为例，2020年6月登陆科创板，公开募集资金超过17亿，其中，超过60%用于电子特种气体的新产品研发，以实现打破国外垄断，提高市场占有率。此外，另一家科创板上市企业华特气体，也在公司年报中多次强调，将加大对电子特种气体的研发投入和营销网络覆盖。另外南大光电、昊华科技、雅克科技、凯美特气等很多国内特种气体企业，都在积极寻求资金支持，拓展特种气体领域业务，在技术上追赶国际巨头的同时，抢占国内的替代空间。从2021年前三季度情况看，行业整体增长迅速，代表企业营收增速普遍都达到两位数。

随着下游应用领域拓宽及新工艺路线的逐步扩展，国内特种气体企业在快速发展中，对技术研发越来越重视，技术研发实力也有了快速的进步，相当一部分特种气体的生产、检测、提纯和容器处理的技术已经达到国际标准。比如一直以来依靠进口的超纯氨，现在国内企业已经掌握了超纯氨的生产、提纯工艺和技术。随着更多制造技术的成熟和发展，更多的国产特种气体产品也将逐步走向市场。

现在，一些常用特种气体已基本摆脱依赖进口的被动局面，不但节省了大量外汇，也为发展我国自己的电子工业等高科技产业作出了巨大贡献。

着眼于未来，中国的特种气体发展方向是重点研究开发高水平、填补国内空白的特种气体产品，并不断提高已有产品的质量。大力研究开发的特种气体主要是一些高纯度、高洁净度而又急需的电子气和在我国属于弱项的各种标准气、化学气体的研制开发。

文章来源： 企业放大镜官方，证券日报，氟化工