百级半导体无尘车间FFU及高效过滤器安装要点

百级半导体无尘车间FFU及高效过滤器安装要点

在高科技制造业中，百级半导体无尘车间的建设与维护是至关重要的环节，直接关系到产品的质量和生产效率。其中，FFU(Fan Filter Unit，风机过滤单元)及高效过滤器的正确安装更是确保车间洁净度的核心要素。本文将从多个方面详细介绍百级半导体无尘车间FFU及高效过滤器的安装要点，以期为相关从业人员提供有价值的参考。

一、安装前准备

1. 环境评估与清洁：
   对建设场地进行环境评估，包括空气质量、水源质量等，确保满足建设要求。
   在安装前，必须对洁净室进行全面清扫、擦净，确保无粉尘和杂物。
   净化空调系统内部如有积尘，也应进行清扫，达到清洁要求。

2. 材料采购与检查：
   采购符合标准的建筑材料、净化设备、通风系统及电气控制系统等。
   FFU及高效过滤器在出厂时已进行了多重保护包装，卸货时应使用叉车把整个托盘下货，防止货物倾倒和剧烈振动。
   对FFU及高效过滤器的外观进行检查，包括滤纸、密封垫片、框架有无破损，尺寸和技术性能是否符合设计要求。

3. 人员培训与准备：
   组织施工团队进行专业培训，确保施工人员熟悉净化车间的建设规范及技术要求。
   安装人员必须配备洁净衣和洁净手套，以防人为污染箱体及过滤器。

二、安装过程

1. FFU的安装：
   FFU应安装在吊顶龙骨上，确保安装牢固。
   安装过程中，应轻拿轻放，避免剧烈振动和碰撞。

2. 高效过滤器的安装：
   高效过滤器应安装在FFU的出风口处，确保气流方向正确。
   安装时，只能握过滤器边框，避免手指或其他工具接触过滤器内部滤纸。
   过滤器边框标识箭头应向外，即外框上箭头应和气流方向一致。
   安装过程中，不得踩踏过滤器保护网，禁止杂物丢弃在过滤器表面上。

3. 密封与检漏：
   高效过滤器的安装框架应平整，确保密封性。
   使用密封垫时，垫的厚度和压缩率应符合要求。
   安装完成后，应进行检漏测试，确保无泄漏现象。

三、安装后调试与检测

1. 系统调试：
   FFU及净化空调系统安装完成后，应进行试运转，连续运转12小时以上。
   调试过程中，应检查系统的稳定性、密封性和洁净度等指标。

2. 洁净度检测：
   对车间进行全面的洁净度测试，包括尘埃粒子数、菌落数等指标。
   测试应在车间空置状态下进行，确保测试结果的准确性。

3. 维护与保养：
   建立完善的维护与保养制度，定期对车间内的设备进行清洁、检查和维修。
   加强对操作人员的培训和管理，提高其维护意识和技能水平。

四、注意事项

1. 安装环境：
   安装环境不宜在油烟、多尘、潮湿的空气中进行。
   避免过滤器接触水或其他腐蚀性液体。

2. 安全操作：
   在安装过程中，应遵守安全操作规程，确保人员和设备的安全。
   使用合适的工具和设备进行安装和调试。

3. 质量控制：
   对安装过程进行质量控制和检查，确保每个步骤都符合规范要求。
   对安装完成后的系统进行全面的检测和验收。

综上所述，百级半导体无尘车间FFU及高效过滤器的安装要点涉及多个方面，包括安装前准备、安装过程、安装后调试与检测以及注意事项等。只有严格按照这些要点进行操作和检查，才能确保系统的稳定性和洁净度达到设计要求。