联发科半导体设备气垫式减振器：为精准制造提供稳定保障

联发科半导体设备气垫式减振器：为精准制造提供稳定保障

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在半导体制造领域，设备的稳定性直接关系到芯片生产的精度和良率。而气垫式减振器作为一种先进的隔振技术，正逐渐成为保障半导体设备稳定运行的关键解决方案。本文将为您科普气垫式减振器的原理及其在半导体设备中的重要作用。

什么是气垫式减振器？

气垫式减振器是一种基于空气弹簧原理的隔振装置，通过压缩空气在气垫中的流动和压力变化，来吸收设备运行时产生的振动能量。与传统机械减振器相比，气垫式减振器具有更高的灵敏度和响应速度，能够有效隔绝高频和低频振动，为高精度设备提供稳定的工作环境。

气垫式减振器的工作原理

气垫式减振器的核心是空气弹簧，它通过压缩空气在密闭空间内的流动来实现减振效果。当设备受到外力作用时，气垫内的空气会迅速调整压力，从而形成一个柔性支撑层，吸收和抵消振动。这种动态平衡的特性使得气垫式减振器能够在复杂环境（如高低温、高洁净度）下长期稳定运行。