霍尔效应测试仪(HALL)技术参数与送样要求详解

霍尔效应测试仪(HALL)技术参数与送样要求详解

霍尔效应测试仪是一种用于测量半导体材料重要电学参数的精密仪器。本文将详细介绍一款型号为HMS-5300的霍尔效应测试仪，包括其技术参数、适用样品要求以及测试条件等关键信息。

设备信息

• 设备型号：HMS-5300
• 设备厂商：韩国ECOPIA
• 用途：用于测量半导体材料的载流子浓度、迁移率、电阻率、霍尔系数、导电类型等重要参数

技术参数

• 输入电流：1nA ～ 20mA
• 电阻率：10e－5～ 10e7 Ω．cm
• 载流子浓度：10e7 ～ 10e21 cm－3
• 迁移率：1 ～ 10e7 cm2／（V．s）
• 磁场强度：0.556T
• 样品测量板：弹簧样品板
• 样品尺寸：5mm×5mm ～ 20mm×20mm，适用样品厚度：小于2mm
• 温度范围：80 K －573K
• 磁体包尺寸：700×220×280 mm （W×H×D） ／ 15.5Kg

测试能力

该测试仪可同时测量得到以下参数：

• 体载流子浓度（Bulk carrier concentration）
• 表面载流子浓度（Sheet carrier concentration）
• 迁移率（Mobility）
• 电阻率（Resistivity）
• 霍尔系数（Hall coefficient）
• 磁致电阻（Magnetoresistance）
• 电阻的纵横比率（Vertical／Horizontal ratio of resistance）

送样须知

1. 样品形态：必须是薄膜（做在基底上面的薄膜也可以，基底不能有导电性），薄片，如果是做在基底上面的薄膜，那么薄膜要稍微厚一点，薄膜的厚度需要自己确认好，包括纯薄膜的厚度以及薄片厚度都要确认好，到时候测试时需要输入仪器进行计算的
2. 尺寸：8－11mm见方的圆片或者方片（最好是10mm见方的尺寸），导电层厚度在10－500nm之间最佳，整体厚度不超过2mm，样品需要均匀、平整，不能有孔洞、褶皱等缺陷
3. 电阻要求：样品电阻不要超过200MΩ，当样品电阻超过100Ω时，需要制备金属电极，金属电极共四个，位于正方形的四个顶角处