真空管式炉的炉膛材料有哪些？

真空管式炉的炉膛材料有哪些？

引用

网易

1.

https://m.163.com/dy/article/J7UQE3P305565SML.html

真空管式炉常见的炉膛材料主要有以下几种：

1. 氧化铝

• 具有较高的耐高温性能，能承受 1600 - 1800℃ 的高温。
• 化学稳定性较好，不易与大多数物质发生反应。
• 例如，在金属材料的高温退火处理中，氧化铝炉膛能够提供稳定的环境。

2. 石英

• 纯度高，能满足对实验纯度要求苛刻的条件。
• 热膨胀系数小，在温度变化时尺寸稳定性好。
• 常用于半导体材料的制备和一些需要高纯度环境的实验。

3. 刚玉

• 硬度高，耐磨性好。
• 耐高温，一般可承受 1700℃ 以上的温度。
• 比如在陶瓷烧制实验中表现出色。

4. 莫来石

• 具有良好的抗热震性能，能承受温度的急剧变化。
• 常用于需要频繁升降温的实验。

5. 碳化硅

• 导热性能良好，升温速度快。
• 高温下强度高。
• 在一些对加热速度有要求的实验中应用较多。

例如，在进行高纯度硅片的扩散工艺时，通常会选择石英炉膛；而对于一般的陶瓷材料烧制，氧化铝或刚玉炉膛可能是较为经济实用的选择。