洁净室(无尘室)正压控制规范

洁净室(无尘室)正压控制规范

洁净室（无尘室）的正压控制是确保室内环境达到规定洁净度的关键环节。本文详细介绍了洁净室正压控制的具体规范和实施方法，包括不同等级洁净室的静压差要求、正压风量计算公式以及多种维持正压的措施，为相关领域的从业者提供了实用的参考指南。

洁净室（无尘室）必须维持一定的正压。不同等级的洁净室以及洁净区与非洁净区之间的静压差，应不小于0.5毫米水柱(5pa)，洁净区与室外的静压差，不应小于1.0毫米水柱(10pa)。万级及十万级车间室内压差不小于0.2-0.3毫米水柱(2-3Pa)。

维持洁净室正压值所需的正压风量，宜按下式计算：

式中：

• Q——维持洁净室正压值所需的正压风量（米3/时）
• A——根据围护结构气密性确定的安全系数，可取1.1-1.2
• Q——当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙的渗漏风量（米3/时·米）
• L——围护结构的缝隙长度（米）

由于洁净室内人员流动比较频繁，各种加工生产操作，门窗的开合以及机器的老坏等，都会影响到洁净室内的正压。为保证洁净室室内始终保持一定的压差，须采取一定措施来维持室内正压。我们可以从以下几个方面来维持洁净室内正压：

1. 在回风口装空气阻尼层
2. 排风管装电动密闭阀中效过滤器
3. 余压阀，一般设在洁净室下风侧墙壁，采取此种措施时要求室内须有足够的剩余风量
4. 调节回风阀或排风阀
5. 调节新风阀
6. 风机、风阀联锁控制
7. 定期更换一些必要的过滤器