高纯石英材料制品在半导体制程中的应用

高纯石英材料制品在半导体制程中的应用

石英玻璃凭借其独特的物理化学性能，在半导体、光通讯、光学、光伏等多个高科技领域发挥着重要作用。特别是在半导体集成电路制造过程中，石英制品作为关键材料，对保证产品质量至关重要。

石英玻璃具有一系列优良的物理、化学性能，包括极低的热膨胀系数、优异的耐温性、良好的化学稳定性、优良的电绝缘性、低而稳定的超声延迟性、最佳紫外、可见光及近红外光谱透过率，并拥有高于普通玻璃的机械性能。利用这些优点，石英玻璃可以被加工成锭材、管材、棒材、板材、坩埚、各种器皿和器件以及石英玻璃纤维和织物等产品。

这些产品被广泛应用于需要提供高温、洁净、耐蚀、透光、滤波等各种特定的高新产品生产工艺环境，如半导体、光通讯、光学、光伏、电光源、航空航天、核能激光等行业。

在半导体集成电路制造工艺过程中，石英坩埚、石英管、石英舟、石英支架等各种配件是难以替代的关键材料和制品，涉及半导体晶圆制造的大部分流程。石英制品参与生产工序长，影响范围广，且石英制品必须要几乎完整参与其产品的生产过程才能确定是否通过验收。石英制品一旦出现质量问题，直接影响其产品的合格率，因此石英制品对于下游企业至关重要。

半导体用石英部件一般可分为高温区器件和低温区器件。其中，高温工艺用石英部件由于需要在千度以上连续工作数小时，所以需要其具有耐高温、热稳定性好、不易变形等性能。另外，还需具备耐腐蚀、透光性好、杂质含量低等性能。

石英制品作为半导体设备的零部件和芯片生产工艺过程中的耗材，其应用场景紧密结合半导体生产工艺过程。半导体工艺制程中，需要用到大量的石英制品，主要应用于光刻、刻蚀、清洗、封装、扩散、氧化等工艺。石英制品应用在半导体行业的产品主要包括石英舟、石英法兰、石英玻璃坩埚、石英玻璃基片、石英钟罩、石英管道、石英环等。

随着国内半导体产业的快速发展，用于半导体加工用的石英产品市场受到越来越多的关注。虽然石英制造的企业数量有所增加，但高品质的石英制造商在国内仍然不多，产能主要分布在北京、沈阳、杭州、上海和湖州地区。未来，随着石英市场行业规模的不断扩大，将会吸引更多的企业进入市场。