激光诱导放电等离子体极紫外光源研究取得新进展

激光诱导放电等离子体极紫外光源研究取得新进展

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为促进极紫外光源在世界科学前沿、国民经济主战场、信息与人工智能等领域中的全面发展，《中国激光》于2024年第7期（4月）出版“极紫外光源及应用”专题。

专题封面来自广东大湾区空天信息研究院玄洪文研究员课题组的特邀研究论文。他们与华中科技大学等单位合作，搭建了一套CO2激光诱导放电产生锡等离子体的实验装置，对产生的极紫外光谱进行收集探测，并结合辐射磁流体动力学模拟对极紫外的辐射特性进行了分析。

封面解读

封面展示了激光诱导放电等离子体产生极紫外光的过程。采用脉冲激光轰击真空环境下的锡靶电极，产生初始等离子体。初始等离子体在电场作用下向另一电极扩散，形成放电通道，产生脉冲电流。电流烧蚀锡靶电极，进一步产生放电等离子体。其中Sn8+、Sn9+、Sn10+、Sn11+、Sn12+、Sn13+离子辐射出不可跃迁谱线，形成波长为13.5 nm（2%带宽）的极紫外辐射。该波长辐射光可用作半导体光刻领域中的曝光光源和掩模检测光源。

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