颗粒污染物表面清洁度检测技术详解

颗粒污染物表面清洁度检测技术详解

在洁净室和受控环境中，表面清洁度的管理对于确保产品质量和工艺稳定性至关重要。本文将介绍颗粒污染物表面清洁度的检测方法和相关标准，包括日本清洁空气协会（JACA）No.42指南和ISO14644-9国际标准，帮助读者深入了解表面清洁度等级的划分和测量方法。

为什么需要表面清洁管理？

我们相信，在管理 10,000 级（ISO 7 级）洁净室（这是我们的领域）时，表面清洁度管理极其重要。造成这种情况的主要原因有两个。

一是洁净室的空气洁净度标准主要关注悬浮颗粒物，与落尘沉积物的数量没有明显的相关性，这是万级环境中的通病。二是空气洁净度标准洁净室的洁净度主要是悬浮颗粒物，与累积的落尘数量没有明显的相关性，这是万级环境中常见的问题，直接涉及的是表面污染。

关于 JACA No.42

2006年1月，日本清洁空气协会公布了“如何表达和测量洁净室和相关受控环境中颗粒污染物表面清洁度的指南"。 其“目的"指出：

洁净室及相关受控环境的空气洁净度是通过悬浮颗粒污染物的数量浓度来定义的，但污染物引起问题的区域是产品和其他物体的表面...（略）...ISO/TC209/WG9尝试标准化颗粒污染方面的表面清洁度。因此，迫切需要对颗粒污染物的表面清洁度进行标准化。

表面清洁度等级

洁净室和洁净区域表面颗粒的洁净度等级。它以表面特定清洁度（SPC）等级N表示，表示目标粒径的允许上限颗粒浓度（1 m2 表面中存在的颗粒数量）。

*目标粒径原则上为0.05μm至500μm。

表面清洁度等级数

洁净室和相关受控环境中的表面清洁度以 SPC N级表示。N由目标粒径D下颗粒的允许上限浓度C SPC,D的对数确定，如下式所示。

C SPC,D = (10 N × (1.0/D)

此处，C SPC,D为测定粒径以上的表面的粒子浓度(每1m 2表面的粒子数)的容许上限浓度。有效数字为 2 位。

N是定义在 1 到 8 范围内的 SPC 类别号。中级课程最多可以使用一位小数。

D为测量的粒径（μm）；

1.0为常数（μm）

； 注：实际测量面积通常约为100 cm 2（0.01 m 2 ）。

*摘自日本空气净化协会JACA第42-2006号“洁净室和相关受控环境中颗粒污染物的表面清洁度表达和测量指南"

ISO表面清洁度等级

有一个基于 JACA No.42 的表面清洁度国际标准。即2012年发布的ISO14644-9《按颗粒浓度分类表面清洁度》。与JACA No.42类似，ISO也将表面清洁度分为1至8级。目标颗粒形状、计算公式和测量单位几乎相同。

然而，关于表面清洁度的名称，JACA No.42将其称为SPC（表面特殊清洁度），而ISO将其称为SCP （按颗粒浓度计算的表面清洁度）。此外，ISO SCP 等级表不包括 0.2μm、2μm 和 20μm。

ISO14644-9 SCP类别表

粒子计数器无法确定掉落的灰尘量。

需要专用工具来评估表面清洁度。 C.S.C.销售“RACCAR"粗粒子计数器和“DUSCARⓇ" 。