通过改变光的偏振态，从而实现白光干涉中的光学相移原理
通过改变光的偏振态，从而实现白光干涉中的光学相移原理
通过改变光的偏振态实现白光干涉中的光学相移原理，是一种高精度、非接触式的测量方法。它在表面形貌测量、薄膜厚度测量和光学元件检测等领域具有广泛的应用前景和重要的研究价值。
光的偏振态与白光干涉
光的偏振是指光波在传播过程中，光矢量的方向和大小有规则变化的现象。白光干涉则是利用光的波动性，使两束或多束相干光波在空间某点相遇并产生明暗相间的干涉条纹。这些干涉条纹的形成取决于光波的相位差，而相位差则与光波经过的光程差和偏振状态有关。
偏振态的改变与光学相移
在白光干涉测量中，通过改变光的偏振态，可以实现对光波的相位调制，从而改变干涉条纹的位置和形态。这种相位调制可以通过以下方式实现：
偏振片的调节：偏振片是一种具有偏振特性的光学元件，它可以选择性地透过或抑制特定方向上的光波。通过调整偏振片的方向和角度，可以改变透射光的偏振状态，进而实现对光波的相位调制。
波片的使用：波片是一种能够改变光波相位的光学元件。其中，四分之一波片（λ/4波片）可以将线偏振光转换为圆偏振光或椭圆偏振光，同时引入一定的相位差。通过调整波片的放置角度和类型，可以实现对光波相位的精确控制。
实现过程与步骤
光源与光路设计：选择适当的光源，并设计合理的光路，以确保两束或多束相干光波能够相遇并产生干涉现象。
偏振态的调节：利用偏振片和波片等光学元件，对入射光进行偏振调制。通过调整这些光学元件的方向和角度，可以改变透射光的偏振状态，从而实现对光波的相位调制。
干涉条纹的观测与分析：在干涉仪的接收屏上观测干涉条纹的变化。随着偏振态的改变，干涉条纹会发生移动或变形。通过测量干涉条纹的变化量，可以计算出相位差，进而得到待测物体的相关信息。
应用实例
基于改变光的偏振态实现白光干涉中的光学相移原理，在多个领域具有广泛的应用：
表面形貌测量：通过测量干涉条纹的变化量，可以精确计算出待测物体表面的微小起伏和缺陷。
薄膜厚度测量：利用白光干涉测量技术可以精确测量薄膜的厚度和均匀性。通过改变偏振态并观测干涉条纹的变化，可以计算出薄膜的厚度。
光学元件检测：白光干涉测量技术还可用于检测光学元件的缺陷、应力分布等。通过观测干涉条纹的形态和变化，可以判断光学元件的质量和性能。
实际案例
TopMap Micro View白光干涉3D轮廓仪是一款可以“实时”动态/静态 微纳级3D轮廓测量的白光干涉仪，具有以下特点：
一改传统白光干涉操作复杂的问题，实现一键智能聚焦扫描，亚纳米精度下实现卓越的重复性表现。
系统集成CST连续扫描技术，Z向测量范围高达100mm，不受物镜放大倍率的影响的高精度垂直分辨率，为复杂形貌测量提供全面解决方案。
可搭载多普勒激光测振系统，实现实现“动态”3D轮廓测量。
优于1nm分辨率，轻松测量硅片表面粗糙度测量，Ra=0.7nm
毫米级视野，实现5nm-有机油膜厚度扫描
卓越的“高深宽比”测量能力，实现光刻图形凹槽深度和开口宽度测量。
本文原文来自elecfans.com