一种多晶硅生产中的废气处理系统的制作方法

一种多晶硅生产中的废气处理系统的制作方法

多晶硅生产过程中会产生大量有害气体，其中氯硅烷含量最多，直接排放会对环境造成污染。本文介绍了一种改进的废气处理系统，通过在淋洗塔后端增设收水器和吸附器，有效解决了现有技术中废气处理不完全的问题，提高了环保效果。

背景技术

在多晶硅生产中，还原车间内会因还原炉的每次装拆作业产生大量的有害气体，这些气体主要积聚在车间顶部。虽然采用自来水/清水对废气进行淋洗处理，但排放至大气中的气体仍存在特殊气味，且多级淋洗处理效果不佳，导致成本升高、设备占用面积增大。

技术实现思路

本实用新型提出了一种多晶硅生产中的废气处理系统，包括淋洗塔、收水器和吸附器等组件。具体结构如下：

• 淋洗塔内部设有多级喷淋管，喷淋管通过自循环管线连通淋洗塔的下部。
• 淋洗塔上连接有废气进管，废气进管上设有气体分布器。
• 淋洗塔顶部连接收水器，收水器的排气口通过管道连接吸附器的进气口。
• 吸附器的排气口通过管道连接负压风机，负压风机的出风口端连接排气管线。

收水器采用竖直安装方式，内部设有表面粗糙度小于1.6的挡水板。挡水板可以是连续的多块折流板，相邻折流板凸向中部的顶端设有挡水墙；也可以是一端固定在收水器外壳、另一端斜向下设置的结构。淋洗塔上还连接有清水补给管线，并设有液位计和切断阀，用于控制淋洗塔中的液位。

技术特征

1. 淋洗塔内部设有多级喷淋管，通过自循环管线连通淋洗塔下部。
2. 收水器的挡水板表面设有铁氟龙涂层，保证表面粗糙度小于1.6。
3. 收水器中的挡水板可以是连续的多块折流板，相邻折流板顶端设有挡水墙。
4. 淋洗塔上部为倒锥形结构，有利于冷凝下水份、氯硅烷。
5. 淋洗塔设有清水补给管线，通过液位计和切断阀控制液位。

技术创新点

1. 在现有淋洗塔的基础上增设收水器和吸附器，提高了废气处理效果。
2. 收水器采用特殊结构设计，能有效拦截废气中的水分，减少对吸附器的影响。
3. 淋洗塔上部采用倒锥形结构，有利于冷凝下水份、氯硅烷。
4. 通过液位计和切断阀实现自动化控制，保证淋洗塔中的液位稳定。

技术应用价值

本技术解决了多晶硅生产中废气处理不完全的问题，提高了环保效果。通过优化收水器结构和控制系统，不仅提高了处理效率，还降低了设备成本和维护难度，具有重要的工业应用价值。

技术研发人员：李春洋,周万江,王旭东,李勇兵,陈平曦,刘慕陶,何云鼎,李斌
受保护的技术使用者：四川永祥新能源有限公司
技术研发日：20231017
技术公布日：2024/7/11