半导体行业报告：MEMS传感器关注射频、惯性和压力三大应用领域

半导体行业报告：MEMS传感器关注射频、惯性和压力三大应用领域

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MEMS传感器作为半导体行业的重要组成部分，近年来在射频、惯性和压力等领域展现出强劲的发展势头。本文将为您详细介绍MEMS传感器的基本概念、分类及其在不同领域的应用前景。

MEMS 行业整体情况

什么是 MEMS

MEMS全称Micro Electromechanical System，即微机电系统，是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统，是一个独立的智能系统，可大批量生产，其系统尺寸在几毫米乃至更小，其内部结构一般在微米甚至纳米量级。MEMS传感器，是MEMS中的核心元件，它是一种将能量从一种形式转变成另一种形式，并针对特定可测量的输入为用户提供一种可用的能量输出的微型器件，它是采用微电子和微机械加工技术制造出来的。

MEMS传感器的门类品种繁多，分类方法也很多。按其工作原理，可分为物理型、化学型和生物型三类。按照被测的量又可分为加速度、角速度、压力、位移、流量、电量、磁场、红外、温度、气体成分、湿度、pH值、离子浓度、生物浓度、触觉等类型的传感器。其中每种MEMS传感器又有多种细分方法。如微加速度计按检测质量的运动方式划分，有角振动式和线振动式加速度计；按检测质量支承方式划分，有扭摆式、悬臂梁式和弹簧支承方式；按信号检测方式划分，有电容式、电阻式和隧道电流式；按控制方式划分，有开环和闭环式。